純淨水設備的工藝流程：

原水 → 原水箱 → 原水泵（bèng）→ 加絮（xù）凝劑裝置→ 雙介質過濾器 → 活性炭過（guò）濾器 
→板式換熱器→加阻垢劑裝置→5μm保安過濾器 →一級高壓泵 → 一級（jí）反滲透膜組 
→ 加堿裝置→ 二級高壓泵 → 二級反滲（shèn）透膜組 → 中間水箱 →中間水泵→
紫外線殺菌燈→去（qù）TOC紫外燈 → 脫氧膜（mó）組 → EDI裝置 → 一級拋光混床 
→ 超純水箱→ 超純水泵→ 板式換熱器→二級去TOC紫外燈→二（èr）級脫氧膜組
→ 增壓（yā）泵（bèng） → 二級拋光混床 → 終端過濾器 → 超純水使用點。